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NIKON   尼康 Litho Booster 对准站

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  • NIKON  尼康     Litho Booster      对准站

     

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    具备高速测量晶圆的栅格扭曲的自动对焦台

    锐布 Litho Booster

    主要特点
    • 对所有曝光前晶圆进行栅格扭曲绝对值的高速且高精度测量
    • 可扩张和进化的平台(不仅可以使用尼康的软件,还可以使用第三方应用软件)
    • 使用尼康的光刻机时,可配合浸没式扫描光刻机及通常扫描光刻机的使用

     

    电话:0755-83317701 手机/微信:13246646513

       QQ: 564600083      邮箱:564600083@qq.com

     

     

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