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NIKON 尼康 AMI-5700 检测・检查装置
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可同时实现高产出和卓越检测灵敏度的自动宏观检测装置
主要特点 - 兼容3X nm、2X nm、1X nm光刻（也支持EUV、DSA、Quad Patterning）
- 可应用于3D存储器 / 逻辑 / CMOS图像传感器设备
- 配备图案边缘粗糙度（PER）检测功能和反射镜倾斜光学系统
- 检查产出达到180片以上 / 小时（标准倍率时：散射检查 + 衍射检查或正向反射检查）
- 计测产出达到25片 / 25分钟（在不同条件下对晶圆进行3次批量成像，曝光时间最短时）
- 1Shot内最多可进行75,000个点（26 mm × 33 mm）的计测
电话：0755-83317701 手机/微信：13246646513
QQ: 564600083 邮箱：564600083@qq.com
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