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NIKON   尼康 OPTISTATION-3200 晶圆检测装置

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  • NIKON  尼康     OPTISTATION-3200     晶圆检测装置

     

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    配备了尼康倍受赞誉的 CFI60-2 光学器件,可产生高对比度和最小散光的清晰图像的晶圆检测装置

    晶圆检测装置 OPTISTATION-3200/3100/3000

    主要特点
    • 可对 300 mm 晶圆进行简单快速的手动目测检查
    • 采用符合SEMI标准的安全设计,提供同类产品中最高的系统可靠性
    • 除了宏观表面检查外,该系统还标配边缘检查和晶圆背面中心。
    • 装载 200 mm 盒式适配器可以在单个装置上组合传输 200-300 mm 晶圆
    • 作为用于研发缺陷分析的在线检测系统和分析工具,有助于大幅提高产量

     

     

    电话:0755-83317701 手机/微信:13246646513

       QQ: 564600083      邮箱:564600083@qq.com

     

     

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