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NIKON 尼康 OPTISTATION-3200 晶圆检测装置
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配备了尼康倍受赞誉的 CFI60-2 光学器件,可产生高对比度和最小散光的清晰图像的晶圆检测装置
主要特点 - 可对 300 mm 晶圆进行简单快速的手动目测检查
- 采用符合SEMI标准的安全设计,提供同类产品中最高的系统可靠性
- 除了宏观表面检查外,该系统还标配边缘检查和晶圆背面中心。
- 装载 200 mm 盒式适配器可以在单个装置上组合传输 200-300 mm 晶圆
- 作为用于研发缺陷分析的在线检测系统和分析工具,有助于大幅提高产量
电话:0755-83317701 手机/微信:13246646513
QQ: 564600083 邮箱:564600083@qq.com
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